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| 분광학적 타원해석법을 이용하는 타켓박막층의 밴드갭 및 물리적 결함 측정 방법 (method of measuring band gap and physical defect of target thin film using spectroscopic ellipsometry) | ||
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분광학적 타원해석법을 이용하는 타켓박막층의 밴드갭 및 물리적 결함 측정 방법 (method of measuring band gap and physical defect of target thin film using spectroscopic ellipsometry)
정권범, 박진성, 박현우, 한경주
등록 (10-1261495 / 등록일 2013.04.30)
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