Advanced Physics on Electromaterial Laboratory Welcome to APEL
Equipment
| 3인치 타겟 스퍼터 (박막 증착 시스템) | |
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● Magnetron sputtering system ● 장비 모델명 : SNTEK SPR-5004
● 장비 스펙 → Magnetron sputtering system → Gas supply : N2, O2 Ar → Maximum heating : 450℃ → Substrate size : 4 inch wafer |
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