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| 분광학적 타원해석법을 이용한 전자 소자의 특성 평가 방법 (Method for evaluating property of electronic device using spectroscopic ellipsometry) | ||
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분광학적 타원해석법을 이용한 전자 소자의 특성 평가 방법(Method for evaluating property of electronic device using spectroscopic ellipsometry)
정권범, 박진성, 여창수, 한경주
등록 (10-1360540 / 등록일 2014.02.03)
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