전기적 및 광학적 특성 조절 가능한 Ti-O 박막 및 그 제조방법 (Ti-O Film Having Controllable Electrical and Optical Properties and Manufacturing Method thereof) | ||
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전기적 및 광학적 특성 조절 가능한 Ti-O 박막 및 그 제조방법 (Ti-O Film Having Controllable Electrical and Optical Properties and Manufacturing Method thereof)
정권범, 박진성, 송종한, 채근화, 여창수
출원 (10-2012-0053442)
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