​● ​DLTS & PICTS

정량적 결함 분석 장비

- 광 유도 전류의 시간에 따른 감쇠 특성을 측정하여, 반도체 밴드갭 내의 결함을 정량 분석 

● 장비 스펙

​  → Temperature range : -200 ~ 420℃​

​  → ​Wavelength : 275, 280, 420, 523, 680nm

​  → Current range : 10pA ~ 10mA​

​  → Pulse width : 1ms ~ 2000s​

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