반도체 소자의 계면 결함 검출 장치 및 방법 (Apparatus and Method for Detecting Interface Defect in Semiconductor Device)
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작성일 2024-11-18 23:30 조회 141회 댓글 0건
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반도체 소자의 계면 결함 검출 장치 및 방법 (Apparatus and Method for Detecting Interface Defect in Semiconductor Device)
정권범,정광식,김민정
국내 출원 (10-2024-0090267)
소자 어레이 분석 방법 및 이를 위한 분석 장치 (Analysis method of device array and analysis apparatus for method)
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