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크라이오 펌프 사용에 따른 스퍼터 방법으로 성막된 InGaZnO와 InZnSnO 박막 특성 평가

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작성자 최고관리자

작성일 2025-02-11 10:53 조회 75회 댓글 0건

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크라이오 펌프 사용에 따른 스퍼터 방법으로 성막된 InGaZnO와 InZnSnO 박막 특성 평가


최시연


한국 진공 학회 


대한민국 평창 


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