수소분위기 열처리를 통한 InZnSnO 산화물 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 매커니즘 연구 | ||
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수소분위기 열처리를 통한 InZnSnO 산화물 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 매커니즘 연구
김도현,
한국진공학회(KVS)
한국, 강원도 홍천
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