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전기적 및 광학적 특성 조절 가능한 TaInZnO 박막 및 그 제조방법 (TaInZnO Film Having Controllable Electrical and Optical Properties and Manufacturing Method thereof)
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  • 2022-05-09 11:30:11

전기적 및 광학적 특성 조절 가능한 TaInZnO 박막 및 그 제조방법 (TaInZnO Film Having Controllable Electrical and Optical Properties and Manufacturing Method thereof) 

정권범, 박진성, 송종한, 채근화, 여창수 

출원 (10-2012-0053581) 

 



 

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