Advanced Physics on Electromaterial Laboratory Welcome to APEL
Patents
| 박막의 물성을 변화시키는 방법 (method of changing property of thin film) | ||
|---|---|---|
|
||
|
박막의 물성을 변화시키는 방법 (method of changing property of thin film) 정권범, 박진성, 송종한, 송진호, 여창수, 조만호, 채근화 출원 (10-2011-0067635) 등록 (10-1259000)
|
||
| 이전글 | 전기적 및 광학적 특성 조절 가능한 Ti-O 박막 및 그 제조방법 (Ti-O Film Having Controllable Electrical and Optical Properties and Manufacturing Method thereof) | |
| 다음글 | 분광학적 타원해석법을 이용하는 타켓박막층의 밴드갭 및 물리적 결함 측정 방법 (method of measuring band gap and physical defect of target thin film using spectroscopic ellipsometry) | |
