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하프늄 실리케이트 박막 제조방법 (MANUFACTURING METHOD OF HF-SILICATE THIN LAYER)
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  • 2022-05-09 11:36:06

하프늄 실리케이트 박막 제조방법 (MANUFACTURING METHOD OF HF-SILICATE THIN LAYER) 

조만호, 정권범, 오언석, 고대홍 

출원 (제 10-2007-0134312호) 

 


 

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