하프늄 실리케이트 박막 제조방법 (MANUFACTURING METHOD OF HF-SILICATE THIN LAYER) | ||
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하프늄 실리케이트 박막 제조방법 (MANUFACTURING METHOD OF HF-SILICATE THIN LAYER) 조만호, 정권범, 오언석, 고대홍 출원 (제 10-2007-0134312호)
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