● Magnetron sputtering system

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● 장비 모델명 : SNTEK SPR-5004​

● 장비 스펙

​  → Magnetron sputtering system​

​  → ​​Gas supply : N₂, O₂ Ar​

​  → ​Maximum heating​ : 450℃

​  → Substrate size : 4 inch wafer​

● Electron beam evaporation (set up)​