결함 분석 장비 (정량) | |
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● DLTS & PICTS ● 장비 스펙 → Temperature range : -200 ~ 420℃ → Wavelength : 275, 280, 420, 523, 680nm → Current range : 10pA ~ 10mA → Pulse width : 1ms ~ 2000s
● SHG
● AC transconductance (Set up) |
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