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| 고활성화된 아톰 소스를 이용한 박막 형성 방법 및 그 박막 (FILM FORMING METHOD USING A HIGHLY ACTIVATED ATOM SOURCE AND FILM THEREOF) | ||
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고활성화된 아톰 소스를 이용한 박막 형성 방법 및 그 박막 (FILM FORMING METHOD USING A HIGHLY ACTIVATED ATOM SOURCE AND FILM THEREOF)
조만호, 정권범, 고대홍, 황정남, 문대원
등록 (10-0724096 / 등록일 2007.05.25)
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