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| 결함 분석 장치 및 이를 이용한 결함 분석 방법 (DEFECT ANALYSIS DEVICE AND DEFECT ANALYSIS METHOD USING THE SAME) | ||
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결함 분석 장치 및 이를 이용한 결함 분석 방법 (DEFECT ANALYSIS DEVICE AND DEFECT ANALYSIS METHOD USING THE SAME)
문연건, 임준형, 정권범, 정광식, 홍현민 국내출원 (10-2022-0118117) 미국출원 (US18/227976) 중국출원 (202311170916.7)
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