AC trans (정량적 결함 분석)

SHG (정량적 결함 분석)

4 point 측정 (전기적 특성 분석)

홀 측정 (전기적 특성 분석)

RTA (후처리 공정 장비)

SUT (후처리 공정 장비)

2인치 타겟 스퍼터 (박막 증착 시스템)

E-beam (박막 증착 시스템)

SE (정성적 결함 분석)

DLTS&PICTS (정량적 결함 분석 장비)

IV&CV 측정 (전기적 특성 분석 장비)

퍼니스 (후처리 공정 장비)

3인치 타겟 스퍼터 (박막 증착 시스템)